半導體石墨模具的制造工藝

半導體石墨模具的制造工藝
    制造半導體石墨模具一般選用化學氣相堆積（CVD）法。此辦法是在高溫下，通過特定氣體在石墨基底上堆積出石墨層，然后進行切割和研磨，終究得到所需的石墨模具。此外，熱解法制備石墨模具也是一種常見的辦法，它通過熱解有機前驅體，得到石墨資料，然后進行后續的加工處理。